Load / Unload
按载具、节拍与主设备接口配置
联系工程师AUTOMATION & AUXILIARY
05自动化与辅助设备
连接主设备与生产节拍的上下料和自动化配套能力，具体配置以项目确认结果为准。
EQUIPMENT TYPES
设备类型
EFEM
按晶圆尺寸、载具与自动化接口配置
自动搬送模块
按主设备和载具配置
APPLICATION COVERAGE
已覆盖的应用方向
以下内容用于快速判断是否接近您的需求，具体适用性仍需结合材料、工艺与现场条件确认。
模块
Load / UnloadEFEM机械手搬送定位与传输
接口
主设备联动载具识别安全互锁SECS / GEM方向
SELECTION INPUT
形成设备方案前
需要确认什么
- 配套主设备
- 载具与处理对象
- 上下料节拍
- 定位与传输
- 通讯及安全接口
NEXT STEP
提交项目需求