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湿法设备产品体系
查看清洗、腐蚀刻蚀、显影电镀、供回液及自动化设备。具体结构与配置根据加工对象和工艺条件确定。
REPRESENTATIVE EQUIPMENT
代表性设备
选择与您加工对象相近的代表设备，了解设备形式和主要配置方向。
FLS-2050AT
单片晶圆清洗设备
晶圆 / 清洗 · 漂洗与干燥
查看设备
FLS-9016ATL
全自动RCA晶圆清洗设备
晶圆 / RCA清洗 · 漂洗与干燥
查看设备
高纯工艺部件清洗
石英钟罩清洗设备
石英钟罩 / 清洗 · 漂洗与干燥
查看设备
FLS-2000GT
炉管及高纯石英件清洗设备
炉管及高纯石英件 / 清洗 · 漂洗与干燥
查看设备
晶圆载具清洗
FOUP / FOSB清洗干燥设备
FOUP / FOSB / 清洗 · 漂洗与干燥
查看设备页面设备图为外观或方案仿真展示，非实机照片；具体配置以项目方案为准。
FIVE FAMILIES
选择设备系列
先确定处理对象、制程与药液，再进入具体设备类型和配置评估。