流场及热场控制
围绕工艺稳定性、温度条件与处理均匀性配置设备模块。
联系工程师TECHNOLOGY CAPABILITY
技术能力
围绕流场、温度、化学体系与运动控制，将工艺要求转化为可配置的设备模块。
物理湿法处理
结合清洗对象、表面状态与制程要求选择物理处理路径。
化学湿法处理
围绕化学品体系、工艺顺序、供液与回收组织设备方案。
运动控制技术
连接传输、定位、上下料和设备通讯，支持自动化集成。
复合湿法处理
根据对象与工艺目标，组合化学、物理、漂洗和干燥模块。
CAPABILITY RANGE
技术能力范围
从加工对象、材料、药液和现场条件出发，确认可以采用的处理路径与设备模块；涉及性能、标准和验收的结论，在具体项目中逐项确认。
晶圆与制程
面向晶圆清洗及低损伤湿法处理，结合对象与验收方法确定设备边界。
- 晶圆材料与尺寸评估
- 颗粒与残留控制方向
- 单片或批量处理路径
- 清洗与刻蚀均匀性评估
- 喷淋、浸泡与循环方式
- 漂洗与干燥模块
- 样品试验与检测口径
- 具体指标按技术协议确认
化学与材料
根据药液、温度、洁净要求与异常工况选择接液材料和处理模块。
- 化学品与浓度范围确认
- 工艺温度与接触时间
- 槽体、管路与阀件选材
- 密封与泵送部件评估
- 配液、补液与过滤方向
- 浓度及液位监测方向
- 废液分类与回收接口
- 材料兼容性按项目确认
自动化与控制
连接传输、定位、配方管理、安全互锁和工厂信息系统。
- EFEM与机械手方向
- Cassette-to-Cassette上下料
- 载具识别与定位
- PLC与HMI控制
- 配方与权限管理
- 数据记录与追溯方向
- SECS / GEM通讯方向
- MES接口按项目适配
运行与资源管理
结合产能、维护、厂务条件与环保要求评估设备运行方案。
- 节拍与装载方式评估
- 维护空间与保养要求
- 关键部件寿命管理
- 超纯水与压缩气体接口
- 化学品供给与回收方向
- 废气与废液处理接口
- 报警、联锁与异常处置
- 验收方法按项目约定
PROJECT BOUNDARIES项目确认边界
安全设计边界厂务接口边界项目验收边界具体标准、认证要求、性能指标及适用型号，以经确认的项目技术协议和验收文件为准。
本页用于说明技术评估方向，不构成所有设备的统一性能承诺。
FROM PROCESS TO EQUIPMENT
从工艺问题，进入设备讨论
加工对象、工艺目标和现场条件，是判断模块组合与设备方向的起点。
讨论技术问题