槽式去胶清洗设备
根据材料与药液体系配置
联系工程师CLEANING EQUIPMENT
01清洗设备
面向晶圆、高纯石英部件及晶圆载具等加工对象，提供单片、槽式、腔式及定制湿法清洗设备。
EQUIPMENT TYPES
设备类型
010203 04050607 08 09
单片晶圆清洗设备
代表型号，配置按项目确认
全自动RCA晶圆清洗设备
多槽工艺与自动搬送
石英钟罩清洗设备
型号与配置待项目确认
炉管及高纯石英件清洗设备
卧式清洗方向
FOUP / FOSB清洗干燥设备
载具内外表面处理
掩膜版清洗设备
石英及苏打玻璃掩膜版单片清洗
盘、环、舟及治具清洗设备
面向高纯工艺部件的膜前、膜后及机加后清洗
定制槽式湿法清洗设备
按工艺流程组织模块
APPLICATION COVERAGE
已覆盖的应用方向
以下内容用于快速判断是否接近您的需求，具体适用性仍需结合材料、工艺与现场条件确认。
材料
硅碳化硅氮化镓玻璃陶瓷高纯石英石墨
对象
晶圆掩膜版炉管盘 / 环 / 舟花篮及治具FOUP / FOSB
工艺
RCA清洗去胶清洗磨抛后清洗膜前 / 膜后清洗通孔清洗漂洗与干燥
REPRESENTATIVE EQUIPMENT
本系列代表设备
通过代表性设备了解平台方向，非标准型号穷举。
单片晶圆清洗设备
查看设备
全自动RCA晶圆清洗设备
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石英钟罩清洗设备
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炉管及高纯石英件清洗设备
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FOUP / FOSB清洗干燥设备
查看设备设备图为外观或方案仿真展示，非实机照片；具体配置以项目方案为准。
SELECTION INPUT
形成设备方案前
需要确认什么
- 加工对象与材料
- 单片或批量处理
- 工艺与药液体系
- 漂洗与干燥要求
- 搬送、供回液及厂务接口
NEXT STEP
提交项目需求