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外观仿真图 · 非实机照片 · 具体配置以项目方案为准01 / OBJECT晶圆加工对象
02 / PROCESSRCA清洗 · 漂洗与干燥工艺方向
03 / PROJECT按工艺条件配置设备实现
ENGINEERING CONFIGURATION
围绕项目条件，组织设备模块。
以下为该设备方向可讨论的工程能力，最终配置在技术交流后确定。
SMIF配置方向
机械手搬送
供回液与通讯接口
告诉我们加工对象、工艺环节和当前问题。
工程师将在沟通后确认必要的材料、尺寸、药液、节拍及厂务条件。
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