定制湿法设备平台

FLS-9096AT

定制槽式湿法清洗设备

根据加工对象、工艺流程、药液体系、产能目标及厂务条件,组织槽体、搬送与控制模块。

定制槽体工艺组合厂务集成
CUSTOM EQUIPMENT DIRECTION定制湿法设备平台
01 / OBJECT晶圆 · 基板及其他可评估对象加工对象
02 / PROCESS磨抛后清洗 · 定制湿法处理工艺方向
03 / PROJECT按工艺条件配置设备实现

ENGINEERING CONFIGURATION

围绕项目条件,组织设备模块。

以下为该设备方向可讨论的工程能力,最终配置在技术交流后确定。

01

工艺槽、QDR与干燥方向

02

机械手搬送

03

供回液接口

04

SECS/GEM通讯方向

PROFESSIONAL CONSULTATION

告诉我们加工对象、工艺环节和当前问题。

工程师将在沟通后确认必要的材料、尺寸、药液、节拍及厂务条件。

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