晶圆载具清洗

FOUP / FOSB清洗干燥设备

面向晶圆载具内外表面的清洗、漂洗、干燥及自动化搬送需求。

FOUP / FOSB载具清洗清洗干燥
 FOUP / FOSB清洗干燥设备方案仿真图方案仿真图 · 不代表已确认标准型号
01 / OBJECTFOUP / FOSB加工对象
02 / PROCESS清洗 · 漂洗与干燥工艺方向
03 / PROJECT按工艺条件配置设备实现

ENGINEERING CONFIGURATION

围绕项目条件,组织设备模块。

以下为该设备方向可讨论的工程能力,最终配置在技术交流后确定。

01

内外表面处理方向

02

漂洗与干燥模块

03

载具搬送

04

具体配置按项目确认

PROFESSIONAL CONSULTATION

告诉我们加工对象、工艺环节和当前问题。

工程师将在沟通后确认必要的材料、尺寸、药液、节拍及厂务条件。

联系工程师