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INTEGRATED CIRCUIT
先进集成电路制造
湿法设备应用
围绕晶圆制造中的清洗、腐蚀刻蚀及配套湿法设备需求。
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APPLICATION
相关湿法工艺
01
晶圆清洗
02
腐蚀刻蚀
03
去胶
04
供回液
EQUIPMENT
设备方向
单片设备
具体适用性与配置通过项目沟通确认。
槽式设备
具体适用性与配置通过项目沟通确认。
腐蚀刻蚀设备
具体适用性与配置通过项目沟通确认。
CDS / CRS
具体适用性与配置通过项目沟通确认。
INDUSTRY APPLICATION
从行业场景进入,再回到具体对象与工艺
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