WET ETCHING

刻蚀设备与方案

面向晶圆、玻璃及可评估对象的湿法刻蚀设备需求。

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EQUIPMENT NEEDS

常见设备需求

01目标结构
02药液体系
03温度与流场
04供回液
PROCESS-LED

这道工艺是否适合现有设备平台,需要专业沟通确认

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