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RESIST STRIPPING
去胶设备与方案
面向晶圆及基板去胶与后续清洗需求配置槽式设备。
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EQUIPMENT NEEDS
常见设备需求
01
材料确认
02
药液体系
03
漂洗与干燥
04
自动化
RELATED EQUIPMENT
相关设备方向
槽式去胶清洗设备
设备配置以实际材料、工艺、产能与厂务条件为准。
供回液系统
设备配置以实际材料、工艺、产能与厂务条件为准。
PROCESS-LED
这道工艺是否适合现有设备平台,需要专业沟通确认
讨论工艺需求