FOUP清洗设备完成交付

本次更新说明

面向晶圆载具洁净需求的FOUP清洗设备完成项目交付，进一步覆盖晶圆载具清洗应用方向。

面向FOUP等晶圆载具内外表面的清洗、漂洗与干燥应用。

同类项目通常需要确认

• 载具规格与装载方式
• 内外表面的污染与洁净目标
• 漂洗及干燥要求
• 搬送、节拍与自动化接口

公开信息边界

本页仅记录目前可以公开的项目进展，不披露客户名称、项目现场、设备详细配置和验收数据。页面日期为内容更新日，不代表设备交付日期。