RCA晶圆清洗设备完成交付

本次更新说明

面向批式晶圆湿法清洗应用的RCA清洗设备完成交付，具体设备配置按项目工艺条件确定。

面向批式晶圆RCA清洗及配套漂洗、干燥应用。

同类项目通常需要确认

• 晶圆材料、尺寸与装载方式
• 工艺顺序与药液体系
• 槽体、搬送与交叉污染控制
• 漂洗、干燥与验收方法

公开信息边界

本页仅记录目前可以公开的项目进展，不披露客户名称、项目现场、设备详细配置和验收数据。页面日期为内容更新日，不代表设备交付日期。